The Structural Property Changes of Thin Silicon by Various Anneal Treatment

Junsin ,  Yi

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

The Effects of Impurities in Silicon Nitride Substrate on Tribological Behavior between Diamond Film and Silicon Nitride Ball

Dae-Soon Lim ,  Jong-Hoon Kim

Lubricants Symposium

1995 .10

The Effects of Impurities in Silicon Nitride Substrate on Tribological Behavior between Diamond Film and Silicon Nitride Ball

Dae Soon Lim ,  Jong Hoon Kim

Tribology and Lubricants

1995 .12

Silicon Nitride Films Prepared at a Low Temperature (${\leq}200^{\circ}C$) for Gate Dielectric of Flexible Display

Lee ,  Kyoung-Min ,  Hwang 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Hydrogen and Alkali Ion Sensing Properties of Ion Implanted Silicon Nitride Thin Film

박구범

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

Laser CVD silicon nitride막의 wear out

김천섭 ,  권봉재 ,  김용우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Optimization of Silicon Quantum Dot Fabrication on Oxide and Nitride Films

Hyungcheol Shin ,  Jongho Lee

Journal of Electrical Engineering and information Science

1999 .08

연신 및 저온열처리에 의한 PET 필름의 구조변화에 관한 연구

류윤호 ,  장동호

한국섬유공학회지

1988 .01

A Study on Silicon Nitride Based Ceramic Cutting Tool Materials

Dong-Soo Pa ,  k

Lubricants Symposium

1995 .10

A Study on Silicon Nitride Based Ceramic Cutting Tool Materials

Dong Soo Pa ,  k

Tribology and Lubricants

1995 .12

Electrical Properties of MIM and MIS Structure using Carbon Nitride Films

Hyo Ung Lee ,  이성필

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2006 .01

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

공간 분할 PE-ALD에서 증착된 저온 실리콘 질화물 박막의 Plasma Treatment 특성 연구

이백주 ,  황재순 ,  서동원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

연속 공정으로 형성된 탄탈륨 산화막 및 실리콘 질화막의 이중유전막에 관한 연구 ( A Study on the double-layered dielectric films of tantalum oxide and silicon nitride formed by in situ process )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1993 .01

벌지 실험을 이용한 박막 물성 측정

고성현 ,  한준수 ,  이헌기 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동

김윤기 ,  김상권

한국표면공학회지

2011 .06