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Oxide Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Tri-Level Resist Etch in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etcher
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Dry Etcher 기술개발 동향과 발전
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Vibration Reduction of Spin Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2011 .01
Spin Etcher의 진동 분석
한국반도체장비학회지
2003 .01
차세대 Poly Etcher 장비에 요구되는 요소 기술의 이해
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Characteristics of High Aspect Ratio Small Contact Etching in RIE Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
유비쿼터스 센서네트워크용 평판형 안테나 설계
한국통신학회 학술대회논문집
2012 .11
ICP etcher에서의 high conductance 최적화와 SiO₂ 식각 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .05
Fabrication of Planar-type Nano Structures on thin Graphite layer using Focused Ion Beam 3-D Etching Technique
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
은이온교환 평판형 유리도파로 제작을 위한 설계 조건 ( Design Conditions for Fabrication of Planar Silver Ion-Exchanged Glass Waveguides )
대한전자공학회 기타 간행물
1995 .01
은이온교환 평판형 유리도파로 제작을 위한 설계 조건 ( Design Conditions for Fabrication of Planar Silver Ion-Exchanged Glass Waveguides )
한국통신학회 기타 간행물
1995 .01
Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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