지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1993.1
- 수록면
- 16 - 22 (7page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
습식식각에 의한 GaAs 기판의 via-hole 형성 ( Via-hole formation on GaAs substrate by wet etching )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
-
A Reproducible High Etch Rate ICP Process for Etching of Via-Hole Grounds in 200 ㎛ Thick GaAs MMICs
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2008 .09
-
MMIC 제작을 위한 반도체 공정 조건들의 최적화 : Si₃N₄ 증착, GaAs via-hole건식식각, Airbridge 공정
대한전자공학회 학술대회
1999 .06
-
Design Techniques for GaAs MMICs
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
-
GaAs / A 1 GaAs양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive Ion Etch Using GaAs/AlGaAs Quantum Well )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
-
습식 화학적 식각 방법에 의한 시간에 따른 GaAs(100) 단결정 웨이퍼에서의 마이크로 구멍의 제작 및 분석
한국재료학회지
2019 .01
-
GaAs MMIC를 위한 인덕터의 설계 및 제작에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
-
GaAs MMIC를 위한 인덕터의 설계 및 제작에 관한 연구 ( A Study on Design and Fabrication of Inductors for GaAs MMIC`s )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
-
GaAs-MMIC Process Optimization Using Microstrip Line
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
-
Laser Direct Dry Etching for Al0.3Ga0.7/GaAs Multi-layer Structures
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
-
PECVD방법으로 형성한 $W_{67}N_{33}$/GaAs구조의 열적 특성
한국재료학회지
1993 .01
-
GaAs Technology
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
-
Ar/Cl₂ 중성빔 식각에 의한 GaAs의 식각손상의 감소에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
-
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
-
GaAs MMICs FOR MOBILE COMMUNICATIONS
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
-
GaAs 공정중 금속막 형성기술 연구 ( Metallization Technology in GaAs Process )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
-
GaAs 반도체 공정기술 개발 연구 ( Study on the Development of the Process Technology of GaAs Semiconductor )
특정연구 결과 발표회 논문집
1987 .01
-
GaAs 반도체 공정기술 개발 연구 ( A Study on the Development of the Process Technology of GaAs Semiconductor )
한국통신학회 학술대회논문집
1987 .01
-
GaAs MMIC를 사용한 X-대역 25W 전력증폭기 모듈 구현에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2013 .01
-
Co/GaAs 계면 반응에 미치는 GaAs 기판의 표면처리 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
HEMT 소자 제작을 위한 GaAs/AlGaAs층의 선택적 건식식각 ( Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs Layer for HEMT Device Fabrication )
김흥락
,
서영석
,
양승주
외 4명
전자공학회논문지-A
1991
.11
Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )
정윤권
,
정문식
,
김흥락
외 2명
전자공학회논문지-A
1992
.08
투과형 Diode-Biased SEED 소자의 제작 및 특성 ( Fabrication and Characteristics of Transmission Type Diode-Biased Self Electro-optic Effect Device )
김병구
,
이승원
,
김택무
외 5명
전자공학회논문지-A
1992
.06
평판형 반응성 이온 식각기의 설계변수 분석 ( Design Parameter Analysis for a Planar Type Reactive Ion Etcher )
강봉구
,
박성호
,
전영진
전자공학회논문지
1989
.11
직접 광영기 Photo-CVD에 의한 이산화실리콘 박막의 증착특성 ( Photo-Induced Chemical Vapor Deposition of SiO2Thin Film by Direct Excitation Process )
김윤태
,
전치훈
,
정기로
외 3명
전자공학회논문지
1989
.07
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-013270243