Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석

강정원; 이동현; 김재정

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 강정원 이동현 김재정

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 303 - 304 (2page)

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