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Oxide Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Dry Etcher 기술개발 동향과 발전
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Vibration Reduction of Spin Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2011 .01
ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Spin Etcher의 진동 분석
한국반도체장비학회지
2003 .01
Characteristics of High Aspect Ratio Small Contact Etching in RIE Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
ICP etcher에서의 high conductance 최적화와 SiO₂ 식각 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .05
ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si 건식 식각 시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구
대한전자공학회 학술대회
2014 .06
Oxide Etcher 용 E-Chuck의 기술개발
한국산학기술학회 논문지
2003 .12
ADP DRY ETCHER TECHNOLOGY
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
차세대 통신 기술
전자공학회논문지-TC
2010 .07
‘차세대 통신 기술’
전자공학회지
2010 .04
Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
차세대 인터넷 기술
한국정보과학회 워크샵
1997 .07
차세대 전달망 기술
[ETRI] 전자통신동향분석
2004 .12
차세대 구동기 기술을 찾아서
로봇과 인간
2017 .01
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