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Oxide Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Vibration Reduction of Spin Etcher
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
차세대 Poly Etcher 장비에 요구되는 요소 기술의 이해
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2011 .01
Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Spin Etcher의 진동 분석
한국반도체장비학회지
2003 .01
Characteristics of High Aspect Ratio Small Contact Etching in RIE Etcher
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
ITS 기술발전 동향
전자공학회지
2012 .12
ICP etcher에서의 high conductance 최적화와 SiO₂ 식각 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .05
ADP DRY ETCHER TECHNOLOGY
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2008 .01
Oxide Etcher 용 E-Chuck의 기술개발
한국산학기술학회 논문지
2003 .12
신에너지 발전기술의 개발동향
전기공업
1997 .01
ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Tri-Level Resist Etch in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etcher
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
시스템 패키징 기술 개발 동향
전자파기술
2020 .01
광통신기술 발전동향
TTA 저널
1995 .01
네트워크 기술동향
전자진흥
2004 .01
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