Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases

이석형 ,  유재윤 ,  박종완

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Surface modification of SiOF films by post plasma treatment

Lee ,  Seoghyeong ,  Yoo 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  김선우 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

SiOF 박막의 구조적 특성 및 흡습성에 미치는 불소의 영향

이석형 ,  유재윤 ,  박종완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Water Absorption and Dielectric Properties of Fluorine Doped $SiO_2$ Films Formed by ECRCVD with $SiF_4$ and $O_2$

Yoo ,  Jae-n ,  Lee 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

김덕수 ,  이지혁 ,  이광만 외 2명

한국재료학회지

1999 .01

The Moisture Absorption Properties and Thermal Stability of SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Jae Yoon Yoo ,  Jong Wan Pa 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

The Effects of ECRCVD Deposition Conditions on Nanoscale Friction of Hydrogenated Amorphous Carbon Thin Film

Ko ,  Myoung-Gyun ,  Lee 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MICROSTRUCTURE AND DIELECTRIC PROPERTY OF ECRCVD a-C:H:F/a-C:H FILMS FOR LOW-k INTERLAYER DIELECTRICS,

Yang ,  Sung-Hoon ,  Lee 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Preparation of Low Temperature PECVD SiOF Film and its Integration Issues for Next Generation Devices

Lee ,  Gik-Sik

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

HDP-SiOF 막의 반응기구에 관한 연구 및 층간절연막 적용 특성 평가 ( The Study on the Reaction Mechanism of HDF-SiOF and Inter-Metal-Dielectric Application )

Hong Jae Shin ,  Sung Jin Kim ,  Ji Hyun Choi 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

IPS property using ion beam irradiation on SiOF surfaces

한정민 ,  서대식

한국위성정보통신학회논문지

2012 .01

Effect of Plasma Treatment on Properties of Interlayer Dielectric Fluoricated Amorphous Carbon (a-C:F) Prepared by ECRCVD and Cu/Ta/a-C:F/Si Multilayer Structure

Yang ,  Sung-Hoon ,  Ko 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$SF_6$ 가스를 이용하여 remote PECVD 법에 의해 증착된 저유전율 SiOF 박막의 특성연구

유병곤 ,  강승열 ,  장원익 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Cu(Al)/WN/SiOF/Si 구조의 열적 안정성 연구

박정원 ,  손세일 ,  이석형 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  엄명윤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

UHV ECRCVD에 의한 저온 Si과 SiGe 에피 증착에 관한 연구

황석희 ,  어윤필 ,  황기현 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

ECRPECVD법에 의한 SiOF 박막 증착시 $Ar_{+}$ 이온이 고유 응력에 미치는 영향

김석필 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성

이석형 ,  오경희

한국재료학회지

1997 .01

Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment

Kim ,  Dong-Woo ,  Kim 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01