Effect of Plasma Treatment on Properties of Interlayer Dielectric Fluoricated Amorphous Carbon (a-C:F) Prepared by ECRCVD and Cu/Ta/a-C:F/Si Multilayer Structure

Yang ,  Sung-Hoon ,  Ko 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

The Effects of ECRCVD Deposition Conditions on Nanoscale Friction of Hydrogenated Amorphous Carbon Thin Film

Ko ,  Myoung-Gyun ,  Lee 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Sung Hoon Yang ,  Jeon Won Pa 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Water Absorption and Dielectric Properties of Fluorine Doped $SiO_2$ Films Formed by ECRCVD with $SiF_4$ and $O_2$

Yoo ,  Jae-n ,  Lee 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Fabrication of polyimide based dielectric film with a high dielectric constant using CVD-graphene interlayer

김소희 ,  민복기 ,  장광석 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases

이석형 ,  유재윤 ,  박종완

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Synthesis and Characterization of F-containing Silsesquioxane for Low-k Interlayer Dielectric Application

오성연 ,  최승석 ,  이희승 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

UHV ECRCVD에 의한 저온 Si과 SiGe 에피 증착에 관한 연구

황석희 ,  어윤필 ,  황기현 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Investigating the correlation between Organic Transistor Performance and Semiconductor-Dielectric Interlayer Modifications

성수진 ,  손기철 ,  윤명한 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Synthesis and Characterization of Polyimides Containing Molecular Voids for Interlayer Dielectrics

백남섭 ,  김환규 ,  황승상 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .04

Effects of Low Temperature Interlayer Dielectric Films on the Oxide Reliability and Hot Carrier Immunity of Deep Submicron MOSFET`s

이상기 ,  Hi Deok Lee ,  Young Jong Lee 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Effects of interlayers on the water vapor permeation properties of PEN films

정현옥 ,  송준용 ,  김성룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

Preparation of Processible Polysilsesquioxane Terpolymers for LSI Interlayer Dielectrics with Low Dielectric Constant

김형은 ,  노현욱 ,  김운천 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Effect of microstructure on the tribological properties of a-C:H films

Junho Choi

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근 ,  이곤재 ,  최덕균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

Improved Durability of Planar-Type Perovskite Solar Cells Using by Titanium Oxide for Stabilization of PC₆₀BM Interlayer

안선용 ,  장웅식 ,  박종혁 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Dielectric Constants and Dielectric Behaviors of High Temperature Polyimide Thin Films

이춘근 ,  이상엽 ,  박형석 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

초경합금에 나노결정질 다이아몬드 코팅 시 금속 중간층의 효과

나봉권 ,  강찬형

한국표면공학회지

2013 .04

Improvements of VLSI Circuit Performances According to using Manufacturable Low-K Interlayer Dielectrics

위재경 ,  박영준 ,  민홍식 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01