MICROSTRUCTURE AND DIELECTRIC PROPERTY OF ECRCVD a-C:H:F/a-C:H FILMS FOR LOW-k INTERLAYER DIELECTRICS,

Yang ,  Sung-Hoon ,  Lee 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Sung Hoon Yang ,  Jeon Won Pa 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

UHV ECRCVD에 의한 저온 Si과 SiGe 에피 증착에 관한 연구

황석희 ,  어윤필 ,  황기현 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Effect of Plasma Treatment on Properties of Interlayer Dielectric Fluoricated Amorphous Carbon (a-C:F) Prepared by ECRCVD and Cu/Ta/a-C:F/Si Multilayer Structure

Yang ,  Sung-Hoon ,  Ko 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases

이석형 ,  유재윤 ,  박종완

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Water Absorption and Dielectric Properties of Fluorine Doped $SiO_2$ Films Formed by ECRCVD with $SiF_4$ and $O_2$

Yoo ,  Jae-n ,  Lee 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECRPCVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성에 관한 연구 ( Deposition and Optical Characteristics of the Hydrogenated Amorphous Silicon Films Using ECR Plasma CVD )

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

나노 스케일 마찰 특성 분석

최덕현 ,  황운봉

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

비정질 탄소 박막내 수소에 의한 세포 성장 변화

Jinxiang Piao ,  이준석 ,  진수봉 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

탄소나노월의 특성 향상을 위한 탄소계 박막증착

박종국 ,  유승철 ,  민준기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .07

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

Hydrogenated Amorphous Carbon Film Prepared by Anode Layer Ion Source

Seunghun Lee ,  Ki-Taek Kim ,  Do-Geun Kim 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

수소화된 비정질 실리콘 n+ -p -p+ 태양전지에서 최적 기판온도의 결정 ( Optimum Substrate Temperature for Hydrogenated Amorphous Silicon n+ -p -p+ Cells )

이이상 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

수소화된 비정질 실리콘의 전기적 , 광학적 특성 및 그 응용 ( Photoconductive propertics of hydrogenated amorphous silicon film and its application )

김정섭 ,  오상광 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

탄소나노튜브 기계적 거동에 대한 나노스케일 시뮬레이션

김현준 ,  김대은

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

수소화된 비정질 실리콘 박막의 광도전성 ( The Photoconductivity of Hydrogenated Amorphous Silicon )

권오선 ,  박기철 ,  이승수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

수소화된 비정질 실리콘과 투명 전극의 경계면 상태에 관한 연구 ( Study on the Interface Properties between Indium Tin Oxide and Hydrogenated Amorphous Silicon )

김진하 ,  정관수 ,  윤여진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

수소화된 비정질 실리콘과 투명전극의 경계면 상태에 관한 연구

김진하 ,  정관수 ,  윤여진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성 ( Photoconductive Properites of B-doped Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Films )

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07