Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Sung Hoon Yang ,  Jeon Won Pa 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  김선우 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

김덕수 ,  이지혁 ,  이광만 외 2명

한국재료학회지

1999 .01

SiOF 박막의 구조적 특성 및 흡습성에 미치는 불소의 영향

이석형 ,  유재윤 ,  박종완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

The Moisture Absorption Properties and Thermal Stability of SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Jae Yoon Yoo ,  Jong Wan Pa 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Preparation of Low Temperature PECVD SiOF Film and its Integration Issues for Next Generation Devices

Lee ,  Gik-Sik

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

HDP-SiOF 막의 반응기구에 관한 연구 및 층간절연막 적용 특성 평가 ( The Study on the Reaction Mechanism of HDF-SiOF and Inter-Metal-Dielectric Application )

Hong Jae Shin ,  Sung Jin Kim ,  Ji Hyun Choi 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

IPS property using ion beam irradiation on SiOF surfaces

한정민 ,  서대식

한국위성정보통신학회논문지

2012 .01

Surface modification of MoS₂ by O₂ plasma treatment

Yujin Jang ,  Jang Hee Yoon

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

$SF_6$ 가스를 이용하여 remote PECVD 법에 의해 증착된 저유전율 SiOF 박막의 특성연구

유병곤 ,  강승열 ,  장원익 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Effect of DBD Plasma Treatment on Surface Modification Characteristics of Polyimide Films

Woo Jung Pa ,  k ,  Sam Mook Kang 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Cu(Al)/WN/SiOF/Si 구조의 열적 안정성 연구

박정원 ,  손세일 ,  이석형 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  엄명윤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases

이석형 ,  유재윤 ,  박종완

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성

이석형 ,  오경희

한국재료학회지

1997 .01

ECRPECVD법에 의한 SiOF 박막 증착시 $Ar_{+}$ 이온이 고유 응력에 미치는 영향

김석필 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Surface Modification Mechanism of the CNT by the Solution Plasma Treatment

H. Ha ,  ada ,  T. Ueno 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment

Kim ,  Dong-Woo ,  Kim 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Study of Homogeneous Alignment LCD Device Using Ion-Beam Irradiation method on SiOF Substrates

조명현 ,  김원배 ,  이호영

한국기계기술학회지

2015 .01

TiO₂ 표면개질을 이용한 Cool white LED 광 특성 향상

임기태 ,  김완호 ,  여인선

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2017 .05