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Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
MICROSTRUCTURE AND DIELECTRIC PROPERTY OF ECRCVD a-C:H:F/a-C:H FILMS FOR LOW-k INTERLAYER DIELECTRICS,
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Effect of Plasma Treatment on Properties of Interlayer Dielectric Fluoricated Amorphous Carbon (a-C:F) Prepared by ECRCVD and Cu/Ta/a-C:F/Si Multilayer Structure
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
The Effects of ECRCVD Deposition Conditions on Nanoscale Friction of Hydrogenated Amorphous Carbon Thin Film
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
EFFECT OF THE FLUORINE TREATMENT FOR THE ANTI-CORROSION OF Al(1% Cu) FILMS AFTER PLASMA ETCHING
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Effects of Fluorine for Photoresist Properties
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .10
EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON PROPERTIES OF FLUORINE CONTAINED SILICON OXIDE FILMS PREPARED BY MICROWAVE PLASMA-ENHANCED CVD
한국표면공학회지
1996 .10
SiF₄ 를 이용하여 증착한 PECVD 박막의 빛에 의한 열화도 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
STUDY ON THE SYNTHESIS OF FLUORINE DOPED TiO₂ NANOFIBERS VIA THE ROUTE OF POST-TREATMENT ON ELECTROSPUN TiO₂-SiO₂ NANOFIBERS
AFORE
2014 .11
Effect of the Fluorine Treatment for the Reduction of Al ( Cu 1% ) Corrosion After Plasma Etching
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Si-SiO2 계의 N2 Plasma 처리효과에 관한 연구 ( A Study on the Effect of N2 Plasma Treatment on the Si-SiO2 System )
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
Low Pressure MOCVD법으로 Glass 위에 증착된 fluorine-doped Tin-oxide 박막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
UHV ECRCVD에 의한 저온 Si과 SiGe 에피 증착에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
N₂O 가스에서 열산화한 SiO₂막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
단일 과하중을 받는 보강판의 균열거동해석(1) : SIF의 수치해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
Properties of Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet for Plasma Medicine
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
슬젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
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