FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

김덕수 ,  이지혁 ,  이광만 외 2명

한국재료학회지

1999 .01

SiOF 박막의 구조적 특성 및 흡습성에 미치는 불소의 영향

이석형 ,  유재윤 ,  박종완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Surface modification of SiOF films by post plasma treatment

Lee ,  Seoghyeong ,  Yoo 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  김선우 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

The Moisture Absorption Properties and Thermal Stability of SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Jae Yoon Yoo ,  Jong Wan Pa 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

$SF_6$ 가스를 이용하여 remote PECVD 법에 의해 증착된 저유전율 SiOF 박막의 특성연구

유병곤 ,  강승열 ,  장원익 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

IPS property using ion beam irradiation on SiOF surfaces

한정민 ,  서대식

한국위성정보통신학회논문지

2012 .01

Cu(Al)/WN/SiOF/Si 구조의 열적 안정성 연구

박정원 ,  손세일 ,  이석형 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 ,  이석규 ,  엄명윤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Preparation of Low Temperature PECVD SiOF Film and its Integration Issues for Next Generation Devices

Lee ,  Gik-Sik

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films

Seog Hyeong Lee ,  Sung Hoon Yang ,  Jeon Won Pa 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fluorinated Silicon Oxide ( SiOF ) as a New Intermetal Dielectric : Studies on Dielectric Constant and Local Atomic Structure

Seung Youl Kang ,  Byung Gon Yu ,  Won Ick Jang 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

ECRPECVD법에 의한 SiOF 박막 증착시 $Ar_{+}$ 이온이 고유 응력에 미치는 영향

김석필 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Properties of SiOF Thin Films Deposited By ECRCVD with SiF4 and O2 Gases

이석형 ,  유재윤 ,  박종완

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Study of Homogeneous Alignment LCD Device Using Ion-Beam Irradiation method on SiOF Substrates

조명현 ,  김원배 ,  이호영

한국기계기술학회지

2015 .01

ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성

이석형 ,  오경희

한국재료학회지

1997 .01

Formation and Characteristics of the Fluorocarbonated-SiOF Film by FTES / O2-HDPCVD Method

오경석 ,  강민성 ,  이광만 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

$SiH_4$ 첨가에 의한 저유전율 SiOF 박막의 유전 특성 안정화

변경문 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근 ,  이곤재 ,  최덕균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11