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Preparation of Low Temperature PECVD SiOF Film and its Integration Issues for Next Generation Devices
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성
한국재료학회지
1999 .01
$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화
한국재료학회지
1998 .01
N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
SiOF 박막의 구조적 특성 및 흡습성에 미치는 불소의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Surface modification of SiOF films by post plasma treatment
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
HDP-SiOF 막의 반응기구에 관한 연구 및 층간절연막 적용 특성 평가 ( The Study on the Reaction Mechanism of HDF-SiOF and Inter-Metal-Dielectric Application )
대한전자공학회 워크샵
1997 .01
The Moisture Absorption Properties and Thermal Stability of SiOF Films
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성
한국재료학회지
1997 .01
Remote HF PECVD 공정을 이용한 Textured ZnO 박막증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
IPS property using ion beam irradiation on SiOF surfaces
한국위성정보통신학회논문지
2012 .01
플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
ECRPECVD법에 의한 SiOF 박막 증착시 $Ar_{+}$ 이온이 고유 응력에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
한국정보통신학회논문지
2007 .11
Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )
전자공학회논문지-A
1992 .08
Effect of Post Plasma Treatment on Reliability of ECRCVD SiOF Films
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
$SiH_4$ 첨가에 의한 저유전율 SiOF 박막의 유전 특성 안정화
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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