New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Optical Lithography Simulation Based on Rigorous Diffraction Theory

Kyung Il Lee ,  Seung Gol Lee ,  Jong Ung Lee

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY DISSIPATION IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY INCLUDING SECONDARY ELECTRON GENERATION

Kang Yoon Lee ,  Guang Sup Cho ,  Duk In Choi

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

Proximity Effect Correction by Pattern Modified Stencil Mask in Large Field Projection Electron-Beam Lithography

Hideo Kobinata ,  Hi ,  oshi Yamashita 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Projection Optics , E-Beam과 X-Ray를 이용하는 Fine Line Lithography

권영세

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술

조상욱 ,  오승훈 ,  김창석 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .06

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography

오용호 ,  이재철 ,  임성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

Sub-Half Micron Optical Lithography with dry Development

백기호

대한전자공학회 워크샵

1989 .01