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E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr+6) 의 제거
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2009 .05
Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography
Macromolecular Research
2005 .10
Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1992 .10
웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .04
MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY DISSIPATION IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY INCLUDING SECONDARY ELECTRON GENERATION
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
Fabrication of in-Plane Gated Transistor with Electron-Beam lithography Technique
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2004 .02
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