E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography

Bo Kyung Yoon ,  Won Seok Hwang ,  Youn Jung Pa 외 5명

Macromolecular Research

2005 .10

Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography

이해원 ,  이석규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .10

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY DISSIPATION IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY INCLUDING SECONDARY ELECTRON GENERATION

Kang Yoon Lee ,  Guang Sup Cho ,  Duk In Choi

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Fabrication of in-Plane Gated Transistor with Electron-Beam lithography Technique

한철구 ,  김광무 ,  정석구 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02