X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

Enhancement of Alignment Accuracy with a Novel X-ray Mask in Mix-and-Match of Optical and X-ray Lithography

최상수 ,  전영진 ,  Enzo Di Fab 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Evaluation of Image Shortening Effects with Rectangular Array Patterns in X-Ray Lithography

S. Mitsui ,  Y. Tanaka ,  T. Taguchi 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

X-ray 리소그래피 기반 비원형 노즐제작과 인공지지체용 화이버의 압출

박성제 ,  김동성

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

Reduction of Image Shortening in Two-Dimensional Pattern Replication Using X-Ray Lithography

Kazuya Nakanishi ,  Kimiyoshi Deguchi ,  Tadahito Matsuda

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Characterization of Proximity Correction in 0.1mm Regime X-Ray Lithography

M. Yi ,  E. Seo ,  Y. Seo 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

근육세포거동 제어를 위한 X-ray 리소그래피 기반 계층적 요철구조 표면 제작

박성제 ,  김동성 ,  최이현 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12