X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

레이저 노광을 이용한 첨단 광학부품의 제작

이혁교 ,  김동익 ,  홍승기 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

엑스선 다층박막 광학소자의 제작 및 응용

천권수

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Dynamic Response of Acoustic Delay Line for Beam Lines of SR Lithography System

Eiji ,  o Toyota

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Simulation of Electron Trajectory in the Cell-Projection Lithography Optical System

K. Yamaguchi ,  M. Kote ,  a

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optics and Vibration

Il Moon

한국소음진동공학회 세미나자료집

2012 .11

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01