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New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
X-ray Lithography Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Lithography 기술 현황 및 향후 전망
전자공학회지
1992 .05
Sub-Half Micron Optical Lithography with dry Development
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Optical Lithography Simulation Based on Rigorous Diffraction Theory
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Simulation of Electron Trajectory in the Cell-Projection Lithography Optical System
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
A Trend of Advanced Lithography Development
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
Soft lithography 를 이용한 마이크로 광학소자 제작 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
X-Ray Lithography With High Power Laser
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
Ultralarge-Area Block Copolymer Lithography Integrated with Conventional Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2009 .10
FABRICATION OF 0.4μm GATE PHEMT USING CONVENTIONAL OPTICAL LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
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