New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

전자빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 전자현미경 이미징 특성 분석

김흥배

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2012 .05

Analysis of Dose Distribution According to the Initial Electron Beam of the Linear Accelerator: A Monte Carlo Study

Pa ,  k ,  Hyojun 외 6명

방사선방어학회지

2018 .01

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

Monte Carlo simulation에 의한 nMOSFET의 hot electron현상해석

민병혁 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

Monte Carlo Simulation of Hot Electron Induced Gate Current in MOSFET

H. C. Ng ,  H. Wong ,  E. H. Li 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

대기압 주사전자현미경을 위한 He과 Air에서의 전자빔 분석

한지희 ,  송규 ,  김승재 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .11

시뮬레이션에 의한 SF6-He 혼합기체에서 전자에너지 분포함수

김상남

전기학회논문지 P

2014 .03

Modeling of Electron Mobility of In0.53 ( AlxGa1-x ) 0.47As by Monte Carlo Simulation

Kyung Lak Lee ,  Sung Beam Hwang ,  Jae Hong Pa 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

SF₆가스의 전자에너지 분포함수에 관한 연구

김상남 ,  유희영 ,  서상현 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1996 .11