DUV Iithography용 새로운 반사방지막 연구 ( Study on Characteristics of Ge Based ARL for DUV Lithography )

김용범 ,  김동완 ,  강호영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

DUV 리소그라피공정에서 $TiO_x$ 박막의 무반사층으로의 응용성

전병혁 ,  한상수 ,  김경섭 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Chemically Amplified Silicon-containing Positive Photoresists for DUV Lithography

박상진 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

0.12 mm Optical Lithography Performances Using an Alternating DUV Phase Shift Mask

Y. T ,  ouille ,  N. Buffet 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Negative Molecular Resists with Calixarene Derivatives for DUV Lithography

박지영 ,  김진백 ,  구세진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Sub-10nm Overlay Accuracy in Electron Beam Lithography for Nanometer-Scale Device Fabrication

K. Yamazaki ,  A. Fujiwa ,  a 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

DUV레이저를 이용한 고감도 검사 설비의 Defect Error 현상에 대한 연구

강성호 ,  이용대 ,  임권 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10