메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김진석 (한국생산기술연구원) 김한수 (한국생산기술연구원) 이동윤 (한국생산기술연구원) 이석우 (한국생산기술연구원) 강은구 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국생산제조시스템학회 2011 춘계학술대회 논문집
발행연도
2011.4
수록면
437 - 438 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2012

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석
김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료

2011

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발
김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발
김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.04 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
In recently, trends of the miniaturization of micro parts machining pattern by laser machining methods have been emerged. However, the conventional laser processing methods have limitations on the resolution. So, e-beam process has been considered as alternatives. Especially, e-beam lithography has been taken accounted of tools for micro and nano pattern. But e-beam lithography equipment have some disadvantages such as lower productivity and smaller processing area etc. than other micro parts machining tools. Therefore w ... 전체 초록 보기
#Micro Column #Micro Electron Beam #Electron Beam Lithography #Wafer lens #Multi-column e-beam litho. system #Modular e-beam litho. unit

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-552-000600491