전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

전자빔에 의한 계면경사 Ni(50%)-Cr(50%)/Steel 재료 제조에 관한 연구

김재현 ,  김도훈

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

1999 .01

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY DISSIPATION IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY INCLUDING SECONDARY ELECTRON GENERATION

Kang Yoon Lee ,  Guang Sup Cho ,  Duk In Choi

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

마이크로 칼럼의 전자 방출원 위치 오차의 영향

이응기

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

High-Energy Beam Technology for Material Processing ( Electron Beam and Laser )

Ing. Schwa ,  z ,  Messe 외 2명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1987 .01

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정을 이용한 패턴 제작에 관한 연구

오세규 ,  김동환 ,  김승재

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Electron beam 용접전원 system의 제어 기술 ( Power Supply System of Electron Beam Welder )

고상근 ,  정기형 ,  김상호

대한용접·접합학회지

1996 .06