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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.6
- 수록면
- 283 - 286 (4page)
이용수
초록· 키워드
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In this paper, the relationship between image distortion phenomenon and environmental variation in deep ultra violet(DUV) laser inspection system was studied. The cause of the phenomenon was analyzed by experiments and thermal-flow simulation. Inside the semiconductor inspection system, temperature variation makes the refractive index of the optics get changed. Thus, the optical image distortion was occurred in the results of the image gradation causing a serious defect error. Therefore, it is important for inspection system, which is using DUV wavelength laser, to take control of the environmental variation in order to minimize the thermal lensing effect. Consequently, in order to design the inspection system using the laser optics, the parameter of the temperature and the variation of an air-flow must be considered.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 개요 및 동향
Ⅲ. 실험 방법
Ⅳ. 실험 결과
Ⅴ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
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