DUV 리소그라피공정에서 $TiO_x$ 박막의 무반사층으로의 응용성

전병혁 ,  한상수 ,  김경섭 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Chemically Amplified Silicon-containing Positive Photoresists for DUV Lithography

박상진 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

0.12 mm Optical Lithography Performances Using an Alternating DUV Phase Shift Mask

Y. T ,  ouille ,  N. Buffet 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Negative Molecular Resists with Calixarene Derivatives for DUV Lithography

박지영 ,  김진백 ,  구세진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Improved Electron-Beam / DUV Intra-Level Mix-and-Match as a Production Viable Lithography with 100-nm Resolution

S. Magoshi ,  H. Niiyama ,  S. Sato 외 10명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

DUV레이저를 이용한 고감도 검사 설비의 Defect Error 현상에 대한 연구

강성호 ,  이용대 ,  임권 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

DUV와 열의 하이브리드 저온 용액공정에 의해 형성된 Al2O3 게이트 절연막 연구

장현규 ,  김원근 ,  오민석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2020 .01

초점 모니터 방법을 이용한 레이저 Iithography 장치의 제작과 응용 ( Construction of Laser Lithography System using Method of Monitoring the Focal Point )

이도형 ,  송재원 ,  손현

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Synthesis of Methacrylate-based Polymers with Ethyl-4-Methyl-2-Diazo-3-Oxo-Pentenoate and their Application as DUV Resists

김진백 ,  김경선

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

DUV lithography 위상 변위 마스크용 Zr, Hf Oxide의 전자상태 및 천이 상태 연구

김성관 ,  김양수 ,  노광수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

비대칭 MQW 구조를 이용한 Deep-UV LED의 전기적/광학적 특성

손성훈 ,  김수진 ,  김태근

전자공학회논문지-SD

2012 .05

The Effect of Correlation on ARL in Multivariate Control Charts

Chang Wook Kang

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

1993 .05

The Effect of Correlation on ARL in Multivariate Control Charts

Chang Wook Kang

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1993 .10

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

Status of Physical Application Characteristics of Merchandise Lighting in Department Stores and Large-Scale Marts

Kwang-Hyun Choi ,  Ji-Young Pa ,  k 외 1명

조명·전기설비학회논문지

2017 .08

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

GE Aircraft Engines : GE F404 for the KTX-2, and GE90 : The Engine with the Future Built In

William J. Dwye

한국항공우주학회 단행본

2000 .01

Prevention of degradation in poly $Si_{1-x}Ge_x$/high K structure by controlling Ge content in poly $Si_{1-x}Ge_x$ films

Ko ,  D.H. ,  Kang 외 13명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10