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구리 CMP에서 온도 함수를 고려한 단차 감소 예측 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
구리 CMP 에서 높은 제거율과 낮은 디싱량을 위한 온도 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
사파이어 CMP에서 염화칼륨이 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
A Study on the Polishing Characteristics Using Floating Nozzle in Linear Roll CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2015 .07
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
CMP 가공시간과 패턴 사이즈 효과를 고려한 수학적 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 연마 패드의 표면거칠기가 동압 형성 및 재료 제거에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
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