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CMP 후 세정에서 기능수의 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
CMP 공정 후 PCB세정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Post-CMP에서 PVA 브러쉬의 구조적 특성과 세정효율의 상관관계
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
나노여과막공정에서의 염세정 및 삼투역세 세정효율 비교평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2020 .11
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
산화막 화학기계연마 공정 후 세정 중 다양한 계면활성제를 첨가한 SC1 기반 용액의 향상된 세정 효율 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Thermal Effect in Oxide Film Chemical Mechanical Polishing
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
Post-CMP의 다공성 브러쉬의 입자 제거 메커니즘과 고효율 세정을 위한 기공 스케일 미세화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
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