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신영일 (부산대학교) 박영욱 (부산대학교) 정종민 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2022.10
수록면
11 - 11 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2024

평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
신영일 ,  정승훈 ,  정종민 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2024.06 학술대회자료

2023

온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델
신영일 ,  박영욱 ,  정종민 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2023.05 학술대회자료

2022

구리 CMP에서 온도 함수를 고려한 단차 감소 예측 모델링
신영일 ,  박영욱 ,  정종민 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.10 학술대회자료

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#Chemical mechanical planarization #Temperature #Dynamic etch #Removal rate #Modeling

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