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구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
(001) 산화갈륨 기판의 CMP 공정에서 첨가제가 연마 성능에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
초고압력 Head Unit 이 CMP 장비의 변형에 미치는 영향 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Study on the Polishing Performance of CMP Pad Containing End-capping Polymer Structure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 슬러리 pH 에 따른 연마 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
스윙암 CMP 컨디셔닝 시스템의 설계변수 최적화 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
Post-CMP에서 PVA 브러쉬의 구조적 특성과 세정효율의 상관관계
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
Tribology In Chemical Mechanical Polishing
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
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