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CMP에서 연마 패드의 표면거칠기가 동압 및 재료 제거율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
연마 압력 및 패드 표면 거칠기를 이용한 XGBoost 기반의 CMP 재료 제거율 예측
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
딥러닝을 이용한 패드 표면 거칠기 기반 CMP 재료 제거율 예측 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Prediction of CMP Material Removal Rate based on Pad Surface Roughness Using Deep Neural Network
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2023 .01
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
광경화 적층제조된 CMP 패드의 연마 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
완전 탐색 기반의 최적 결합 CMP 패드 표면 거칠기 파라미터 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
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