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Thermal Effect in Oxide Film Chemical Mechanical Polishing
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
화학적 기계적 연마에서 슬러리 유동의 해석을 위한 CFD 프로세스 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Design a Slurry Constant Temperature Module for Semiconductor CMP Processing using Experimental Design
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
슬러리 사용 저감을 위한 중심부 주입 폴리싱 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Tribology In Chemical Mechanical Polishing
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
이트리아 박막 조도 개선 공정을 위한 화학적 기계적 연마 슬러리 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Characterization of CMP Process at Single Contact Point of Pad Micro-Asperity
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
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