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세정공정에서 브러쉬 기울기 검출을 위한 진동 신호에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
CMP 후 세정용 PVA 브러쉬의 접촉압력 분포 측정
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Post-CMP의 다공성 브러쉬의 입자 제거 메커니즘과 고효율 세정을 위한 기공 스케일 미세화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Post-CMP cleaning에서 브러쉬 마모 예측을 위한 진동 신호 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 후 세정에서 기능수의 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
초고압력 Head Unit 이 CMP 장비의 변형에 미치는 영향 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 공정 후 PCB세정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .04
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
Effect of Brush Treatment and Brush Contact Sequence on Cross Contaminated Defects during CMP in-situ Cleaning
Tribology and Lubricants
2015 .12
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
스윙암 CMP 컨디셔닝 시스템의 설계변수 최적화 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
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