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정경우 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 이동환 (부산대학교) 최진욱 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2019.10
수록면
156 - 156 (1page)

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#CMP(chemical mechanical planarization) #CMP pad #Groove #Viscoelastic #Elastic modulus

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