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학술저널
저자정보
최수현 (University of Ulsan) 허성보 (Korea Institute of Industrial Technology) 장진규 (University of Ulsan) 김현진 (University of Ulsan) 최재욱 (University of Ulsan) 김유성 (Korea Institute of Industrial Technology) 공영민 (University of Ulsan) 김대일 (University of Ulsan)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.30 No.5
발행연도
2021.10
수록면
410 - 414 (5page)
DOI
10.7735/ksmte.2021.30.5.410

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2021

전자빔 조사 에너지에 따른 TIO/Ag/TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화
최수현 ,  허성보 ,  장진규 외 5명 한국생산제조학회지 2021.10 학술저널
전자빔 조사에 따른 플렉시블 표시소자용 TIO/Ag/TIO 다층박막의 전기적, 광학적, 구조적, 기계적 특성 연구
최수현 첨단소재공학과 2021.01 학위논문

2019

저방사 TIO 박막의 광학적, 구조적 특성 개선 연구
최수현 ,  박윤제 ,  최성훈 외 6명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The influence of electron irradiation energy on the optical and electrical properties of TIO/Ag/TIO films has been investigated. These films prepared with RF and DC magnetron sputtering; they show the lowest resistivity of 4.71 × 10<SUP>-5</SUP> Ωcm. The visible transmittance also increased with the electron irradiation energy. The film irradiated at 700 eV shows 83.71% of visible transmittance. In addition, the electron irradiated films at 700 eV show a lower RMS roughness of 63.54 nm. Comparing the figure of merit, we conclude that the visible transmittance and electrical resistivity of the films are dependent on the electron irradiation energy; moreover, the opto-electrical performance of the film is enhanced by electron irradiation.
#Ti doped indium oxide #Ag interlayer #Magnetron sputter #Electron irradiation

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과
4. 결론
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Dong-Ju Kim / 2013 / Effect of thickness and substrate temperature on the properties of transparent Ti-doped In2O3 films grown by direct current magnetron sputtering / Thin Solid Films 547:225~229 Crossref Merve Ekmekcioglu / 2021 / High transparent, low surface resistance ZTO/Ag/ZTO multilayer thin film electrodes on glass and polymer substrates / Vacuum 187:110100 Crossref Tien-Chai Lin / 2017 / Hydrogen plasma effect toward the AZO/CuCr/AZO transparent conductive electrode / Microelectronic Engineering 167:85~89 Crossref C.H. Hong / 2011 / Effect of electron beam irradiation on the electrical and optical properties of ITO/Ag/ITO and IZO/Ag/IZO films / Thin Solid Films 519(20):6829~6833 Crossref Daeil Kim / 2011 / Improvement of structural and optoelectrical properties by post-deposition electron beam annealing of ITO thin films / Renewable Energy 36(2):525~528 Crossref

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