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학술저널
저자정보
문현주 (울산대학교 첨단소재공학부) 전재현 (동국실업주식회사) 송영환 (울산대학교 첨단소재공학부) 오정현 (울산대학교 첨단소재공학부) 공태경 (울산대학교 첨단소재공학부) 최동혁 (동국실업주식회사) 손동일 (동국실업주식회사) 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제28권 제6호
발행연도
2015.1
수록면
310 - 314 (5page)

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We have considered the influence of electron irradiation on the optical and electrical properties of $In_2O_3/Ti$ bi-layered films prepared with RF and DC magnetron sputtering. The $In_2O_3/Ti$ thin films irradiated at 600 eV shows the lowest resistivity of $6.9{\times}10^{-4}{\Omega}cm$. The optical transmittance in a visible wave length region also influenced with the electron irradiation energy. The film that electron irradiated at 600 eV shows 82.9% of optical transmittance in this study. By comparison of figure of merit, it is concluded that the opto-electrical performance of $In_2O_3/Ti$ bi-layered film is improved with electron irradiation.
#$In_2O_3$ #Ti #Magentron sputtering #Electron irradiation #Figure of Merit

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