Influence of Electron Beam Irradiation on the Structural, Optical, and Electrical Properties of ZTO/Ag/ZTO Trilayer Films

엄태영; 송영환; 공태경; 김대일; 전주용; 차병철

doi:https://doi.org/10.4313/TEEM.2017.18.4.217

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저자정보: 엄태영 (울산대학교) 송영환 (울산대학교) 공태경 (울산대학교) 김대일 (울산대학교) 전주용 (한국생산기술원) 차병철 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제18권 제4호

발행연도: 2017.8

수록면: 217 - 220 (4page)

DOI: https://doi.org/10.4313/TEEM.2017.18.4.217

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We deposited transparent conductive ZTO/Ag/ZTO trilayer thin films on glass substrates through magnetron sputtering, andthen conducted intense electron beam irradiation on their surfaces to investigate the effects of electron irradiation on thestructural, optical, and electrical properties of these films. After deposition, we electron irradiated the ZTO/Ag/ZTO films for10 min at electron energies of 300, 500, and 700 eV. The films that were electron irradiated at 700 eV showed a higher opticaltransmittance (84.2%) in the visible wavelength region and a lower resistivity (7.2 × 10?5 Ωcm) compared with the other films. The figure of merit revealed that the ZTO/Ag/ZTO films that were electron irradiated at 700 eV had a higher optical andelectrical performance than the other films prepared in this study.

#ZTO #Ag #Thin film #Magnetron sputtering #Figure of merit

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Yu-Yun Chen / 2011 / Dependence of resistivity on structure and composition of AZO films fabricated by ion beam co-sputtering deposition / Applied Surface Science 257(8):3446~3450

Daeil Kim / 2014 / Improved electrical and optical properties of GZO films with a thin TiO2 buffer layer deposited by RF magnetron sputtering / Ceramics International 40(1):1457~1460

Chien-Sheng Huang / 2015 / The optical and electrical properties of gallium-doped ZnO thin film with post-annealing processes of various atmospheres / Microelectronic Engineering 148:59~63

Lingyun Liu / 2015 / Effect of the annealing process on electrical and optical properties of SnO2/Ag/SnO2 nanometric multilayer film / Materials Letters 149:43~46

Eui-Jung Yun / 2010 / Effect of high-energy electron beam irradiation on the properties of AZO thin films prepared by rf magnetron sputtering / Thin Solid Films 518(22):6236~6240

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