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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.1
- 수록면
- 54 - 58 (5page)
- DOI
- http://dx.doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.1.54
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전자빔 조사와 조사시간의 변화(30, 180, 300초)가 낮은 온도 (250oC)에서의 열처리된 ZnO 박막에 미치는 화학적, 전기적 영향을 분석하기 위해 sol-gel법을 이용하여 ZnO 박막을 준비하였다. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)를 이용해 박막의 화학적 특성을 분석한 결과 전자빔 조사 시간이 증가할수록 ZnO 박막 내부의 M-O 결합이 감소하고 OH- 결합이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 또한 전자빔 조사시간 증가 시 on/off비는 약 약 105 정도로 변화가 없었으나, 문턱전압이 11 V에서 1 V로 이동하였고, 문턱전압 이하 기울기 값은 1.03 V/dec에서 3.69 V/dec로 변화하였다. 이러한 결과는 400oC에서 열처리한 ZnO의 전기적 특성보다 우수한 값이었다.
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참고문헌 (15)
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Atsushi Tsukazaki / 2005 / Blue Light-Emitting Diode Based on ZnO / Japanese Journal of Applied Physics 44(No. 21):L643~L645
Sheng Chu / 2008 / Electrically pumped ultraviolet ZnO diode lasers on Si / Applied Physics Letters 93(18):181106
S. Liang / 2001 / ZnO Schottky ultraviolet photodetectors / Journal of Crystal Growth 225(2-4):110~113
Anderson Janotti / 2007 / Native point defects in ZnO / Physical Review B 76(16):165202
Y. T. Parabhu / 2013 / Sci. Res. 2:45
Sheng Chu / 2008 / Electrically pumped ultraviolet ZnO diode lasers on Si / Applied Physics Letters 93(18):181106
S. Liang / 2001 / ZnO Schottky ultraviolet photodetectors / Journal of Crystal Growth 225(2-4):110~113
Anderson Janotti / 2007 / Native point defects in ZnO / Physical Review B 76(16):165202
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