지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
The effects of electron beam(EB) irradiation on the electrical and optical properties of InGaZnO(IGZO) thin films fabricated using a sol-gel process were investigated. As the EB dose increased, the electrical characteristic of the IGZO TFTs changed from semiconductor to conductor, and the threshold voltage values shifted to the negative direction. X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the O 1s core level showed that the relative area of oxygen vacancies increased from 14.68 to 19.08 % as the EB dose increased from 0 to $1.5{\times}10^{16}electrons/cm^2$. In addition, spectroscopic ellipsometer analysis showed that the optical band gap varied from 3.39 to 3.46 eV with increasing EB dose. From the result of band alignment, it was confirmed that the Fermi level($E_F$) of the sample irradiated with $1.5{\times}10^{16}electrons/cm^2$ was located at the closest position to the conduction band minimum(CBM) due to the increase of electron carrier concentration.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (20)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
InGaZnO 박막 트랜지스터용 용액 공정기반 High-K 물질 이용한 산화물 게이트 절연막 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
-
InGaZnO 용액의 농도가 Drop-casting으로 제작된 산화물 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
센서학회지
2020 .01
-
급속열처리 조건 조절을 통한 InGaZnO 기반 투명 산화물 박막 트랜지스터의 결함 엔지니어링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
고압수소 열처리 방법을 이용하여 수소화한 InGaZnO 박막 트랜지스터 안정성 연구
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
-
Analysis on 2T-DRAM Using Amorphous InGaZnO Thin-Film-Transistors
대한전자공학회 학술대회
2022 .11
-
전자빔 조사 에너지에 따른 TIO/Ag/TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화
한국생산제조학회지
2021 .10
-
박막의 두께가 비정질 InGaZnO 무접합 트랜지스터의 소자 불안정성에 미치는 영향
한국정보통신학회논문지
2017 .09
-
Zn-Sn-O 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 대한 전자빔 조사의 영향
한국재료학회지
2017 .01
-
소스 및 드레인 전극 재료에 따른 비정질 InGaZnO 박막 트랜지스터의 소자 열화
한국정보통신학회논문지
2017 .01
-
전자빔 조사가 ZnO 박막의 전기적 특성 변화에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2017 .01
-
산화물 반도체의 다양한 처리를 통한 박막트랜지스터의 전기적 특성 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
무접합 비정질 InGaZnO 박막 트랜지스터의 게이트 산화층 항복 특성
한국정보통신학회논문지
2018 .01
-
Comparative Analysis on Positive Bias Stress-Induced Instability under High VGS/Low VDS and Low VGS/High VDS in Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2015 .10
-
전자빔 조사에 따른 폴리머코팅 표면 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .12
-
Low Temperature Processed InGaZnO Oxide Thin Film Transistor Using Ultra-Violet Irradiation
Electronic Materials Letters
2015 .01
-
증착 후 전자-빔 조사 에너지에 따른 질화티타늄 박막의 특성
한국생산제조학회지
2020 .08
-
전자빔 조사에 따른 In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ti 적층박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2015 .01
-
가속전자와 소재의 상호작용 모델링을 통한 전자빔 피니싱 수치해석의 정밀도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
-
전자빔 조사를 통한 고분자 표면 특성변화
한국생산제조학회지
2020 .12
-
Titanium Aluminium Nitride 후막의 전자-빔 조사 효과
한국표면공학회지
2020 .12
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0