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SnO₂ single layer and SnO₂/Ag/SnO₂ (SAS) tri-layered films were deposited on the glass substrate by RF and DC magnetron sputtering at room temperature and then the effect of Ag interlayer on the opto-electrical performance of the films were considered. As deposited SnO₂ films show a visible transmittance of 85.5 % and a sheet resistance of 1.2⨉10⁴ Ω/□, the SAS films with a 15 nm thick Ag interlayer show a lower resistance of 18.8 Ω/□ and a visible transmittance of 70.6 %, respectively. The figure of merit based on the optical transmittance and sheet resistance revealed that the Ag interlayer in the SnO₂ films enhances the opto-electrical performance without substrate heating or annealing process.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
D. Kim, Improved electrical and optical properties of GZO films with a thin TiO2 buffer layer deposited by RF magnetron sputtering, Ceram. Inter., 40 (2014) 1457-1460.
D. Kim, Low temperature deposition of ITO on organic films by using negative ion assisted dual magnetron sputtering system, vacuum., 81 (2006) 279-282.
T. K. Gong, S. B. Heo, D. Kim, Effect of postdeposition annealing on the structural, optical and electrical properties of ZTO/Ag/ZTO trilayered films, Ceram. Inter., 42 (2016) 12341-12344.
M. B. Ali, A. Addad, S. M. Alshahrani, H. A. S. Al-Shamiri, B. Elgammal, H. Elhouichet, Processing and physical properties of nanomaterials based Zn-Sn-O elements at various annealing temperatures, Optik., 203 (2020) 164005.
Y. S. Kim, J. H. Park, D. Kim, Influence of Au underlayer thickness on the electro-optical properties of ITO/Au layered films deposited by magnetron sputtering on unheated polycarbonate substrates, Vacuum., 82 (2008) 574-578.
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Y. S. Kim, J. H. Park, D. Kim, Influence of Au underlayer thickness on the electro-optical properties of ITO/Au layered films deposited by magnetron sputtering on unheated polycarbonate substrates, Vacuum., 82 (2008) 574-578.
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