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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
현진 (고려대학교 재료공학과) 전법주 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터) 변동진 (고려대학교 재료공학과) 이중기 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제14권 제3호
발행연도
2004.1
수록면
203 - 210 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2004

PET 기질의 전처리효과가 상온 ECR 화학증착법에 의해 증착된 구리박막의 계면접착력에 미치는 영향
현진 ,  전법주 ,  변동진 외 1명 한국재료학회지 2004.01 학술저널

2003

ECR 상온화학증착법에 의해 PET기판에 제조된 구리 박막의 표면전처리에 따른 접착력 특성
현진 ,  변동진 ,  이중기 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

2002

ECR 상온화학증착법에 의해 PET 표면상에 제조된 구리 박막의 계면 특성에 관한 연구
현진 ,  고형덕 ,  이중기 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Effects of various pretreatments on the adhesion of copper-coated polymer films were investigated. Copper-coated polymer films were prepared by an electron cyclotron resonance-metal organic chemical vapor deposition (ECR-MOCVD) coupled with a DC bias system at room temperature. PET(polyethylene terephthalate) film was employed as a substrate material and it was pretreated by industrially feasible methods such as chromic acid, sand-blasting, oxygen plasma and ion-implantation treatment. Surface characterization of the copper-coated polymer film was carried out by AFM(Atomic Force Microscopy) and FESEM(Field Emission Scanning Electron Microscopy). Surface energy was calculated by based on the value of the contact angle measured. The adhesion of copper/PET films was determined by a pull-off test according to ASTM D-5179. It was found that suitable pretreatment of the PET substrate was required for obtaining good adhesion property between copper films and the substrate. In this study the highest adhesion was observed in sand-blasting, and then followed by those of acid and oxygen plasma treatment. However, the effect of surface energy was insignificant in our experimental range. This is probably due to compensating the difference in surface energy from various pretreatments by exposing substrate to ECR plasma for 5 min or longer at the early stage of the copper deposition. Therefore, it can be concluded that surface roughness of the polymer substrate plays an important role to determine the adhesion of copper-coated polymer for the deposition of copper by ECR-MOCVD.
#copper-coated polymer film #ECR-MOCVD #adhesion #pretreatment

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