ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규; 장홍영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 송선규 장홍영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제23권 제4호

발행연도: 1990.12

수록면: 218 - 224 (7page)

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