PET 기질의 전처리효과가 상온 ECR 화학증착법에 의해 증착된 구리박막의 계면접착력에 미치는 영향

현진 ,  전법주 ,  변동진 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

고형덕 ,  변동진 ,  이중기 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PET 기판상에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO 투명도전막의 특성

김연석 ,  전법주 ,  주재백 외 2명

화학공학

2005 .01

ECR 상온화학증착법에 의해 PET기판에 제조된 구리 박막의 표면전처리에 따른 접착력 특성

현진 ,  변동진 ,  이중기

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성

명종윤 ,  전법주 ,  변동진 외 1명

한국재료학회지

2005 .01

ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구

이재균 ,  전병혁 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PET필름의 전기적 특성에 미치는 계면효과

姜武成 ,  李昌勳 ,  朴秀吉 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .05

최대 효율을 갖는 무선전력전송용 ECR장치 설계

김성완 ,  김창선

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )

전유찬 ,  이호영 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구

손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

ECR 용 최적 마그네트에 관한 연구

김윤택 ,  김용주 ,  김교순 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

ECR CVD를 이용한 SiO2 박막 특성에 관한 연구 ( A Study on The Electrical Characteristics of SiO2 Prepared By ECR CVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 SiO₂ 박막 특성에 관한 연구

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 ( Low Temperature Thermal Oxidation using ECR Oxygen Plasma )

이정열 ,  강석원 ,  이진우 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .03