ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

고형덕; 변동진; 이중기; 박달근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 고형덕 (고려대학교 공과대학 재료공학과) 변동진 (고려대학교 공과대학 재료공학과) 이중기 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터) 박달근 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 143 - 143 (1page)

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