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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
현진 (고려대학교 재료공학과) 변동진 (고려대학교 재료공학과) 이중기 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2003.1
수록면
210 - 210 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2004

PET 기질의 전처리효과가 상온 ECR 화학증착법에 의해 증착된 구리박막의 계면접착력에 미치는 영향
현진 ,  전법주 ,  변동진 외 1명 한국재료학회지 2004.01 학술저널

2003

ECR 상온화학증착법에 의해 PET기판에 제조된 구리 박막의 표면전처리에 따른 접착력 특성
현진 ,  변동진 ,  이중기 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

2002

ECR 상온화학증착법에 의해 PET 표면상에 제조된 구리 박막의 계면 특성에 관한 연구
현진 ,  고형덕 ,  이중기 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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ECR(Electron Cyclotron Resonance)은 전자기장에 의한 회전주파수와 전원으로 가해지는 마이크로웨이브(microwave)의 주파수가 일치할 때 발생하는 공진(resonance)현상이다. ECR에 의해 형성된 고밀도, 고에너지의 플라즈마가 상온하에서도 표면에너지가 낮은 고분자수지상에 접착력과 내구성 및 성능이 우수한 금속박막을 형성시킬 수 있는 특징을 지니고 있다. [1] 이러한 고분자수지 표면에 제조되는 금속박막소재는 반도체산업을 비롯하여, 박막전지, 전자파 차폐 등의 다양한 용도로 개발되고 있다. 그러나, 고분자수지와 금속박막계면간의 접착성의 저하로 후처리 공정에서 외부의 응력을 받게되면 막이 쉽게 탈리되는 문제점이 대두되었고, 이에 대한 개선이 요구되고 있다. 따라서, 본 연구에서는 공업적으로 많이 사용되는 표면 전처리방법을 통하여 구리 박막의 접착력을 향상시키고자 하였다. 상온화학증착 방법에 의해 고분자수지표면에 구리금속박막을 제조하고 여러 가지 표준방법을 사용하여 고분자수지와 구리박막간의 접착특성을 조사하였다.

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