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자료유형
학술저널
저자정보
류득배 (선문대학교 재료공학과) 이수완 (선문대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제1호
발행연도
2001.1
수록면
15 - 19 (5page)

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유리기판 위에 열화학증착법으로 투명전도성 산화주석막을 제조하였다. 박막은 원료물질로 tetramethyltin(TMT), 산화제로 산소나 오존이 포함된 산소의 혼합물로부터 제조되었다 제조된 박막은 기판온도에 따라 물성이 크게 변하였고 최적화된 박막은 TMT 유랑 8 sccm, 산소유량 150 sccm, 기판온도 $380^{\circ}C$에서 제조되었다. 오존을 사용함으로서 기판온도를 약 $180^{\circ}C$정도 낮출 수 있었고 비저항은 ~$10^{ -2}{\Omega}cm$에서 ~$10^{-3}{\Omega}cm$으로 감소시킬 수 있었다.
#Tin Oxide #TMT #Ozone #CVD #transparent and conducting films

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