CVD법에 의한 SnO2 Film의 제조에 관한 연구 ( The Study on the Production of SnO2 Film by CVD Method )

이동윤 ,  이희웅 ,  이상래

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

화학증착법에 의해 제조한 SnO₂ 박막의 중착속도 및 조직특성

이상창 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1992 .10

SnCl₄가수분해 반응의 화학증착법에 의한 SnO₂ 박막의 제조 및 가스센서 특성(Ⅰ) : 증착변수가 SnO₂ 박막의 증착거동 및 전기 비저항에 미치는 영향

김용일 ,  김광호 ,  박희찬

한국표면공학회지

1990 .06

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

화학 증착법에 의해 제조된 SnO₂ 박막의 미세 조직과 특성

이상창 ,  정상현 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

CVD법으로 제작된 $SnO_2$ 박막센서의 가스감응특성

김대식 ,  권현옥 ,  송국현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

열 CVD법으로 증착된 SnO2 박막의 미세구조와 전기적 특성

정진

전기전자재료학회논문지

2003 .01

유도결합 플라즈마(ICP) 화학기상 증착법(CVD)을 이용한 SnO₂ 박막의 광학적 특성

홍승찬 ,  이승훈 ,  남경희 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

열화학증착법으로 제조된 $SnO_2$박막의 특성

류득배 ,  이수완

한국재료학회지

2001 .01

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

증착 후 열처리온도에 따른 SnO 박막의 수소 검출 민감도 변화

유용주 ,  김선광 ,  이영진 외 3명

열처리공학회지

2012 .01

광CVD-MOCVD를 이용한 SnO₂ 박막속도및 특성연구

박정일 ,  신성호 ,  박광자 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .05

어닐링처리시킨 SnO₂ 가스센서의 박막성장특성

강계명 ,  최종운

한국표면공학회지

2007 .12

Low temperature preparation of SnO₂films by ICP-CVD

H. Y. Lee ,  J. J. Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

분무열분해법에 의한 SnO₂박막의 증착

김태희

한국태양에너지학회 논문집

1995 .09

Preparation and properties of SnO₂/Al/SnO₂ multi-layer thin films deposited by Sputtering

Keun Young Pa ,  k ,  Sung Jae Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색

이중호 ,  곽호상 ,  김동주

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .11