유도결합 플라즈마(ICP) 화학기상 증착법(CVD)을 이용한 SnO₂ 박막의 광학적 특성

홍승찬; 이승훈; 남경희; 이정중

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍승찬 이승훈 남경희 이정중

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2004.5

수록면: 114 - 114 (1page)

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