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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이상호 (한양대학교 금속재료공학과) 류주석 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) 윤능구 (에이텍&#12828) 이중연 (에이텍&#12828)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2003.1
수록면
57 - 57 (1page)

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2005

반도체 습식 세정 공정 중 상온의 초순수와 염기성 수용액 내에서 오존의 용해도 최적화
이상호 ,  이승호 ,  김규채 외 5명 반도체및디스플레이장비학회지 2005.01 학술저널

2003

반도체 습식 세정 공정 중 IPA와 초순수 혼합 용액에서의 웨이퍼 건조 및 오염 입자 제거 효과
이상호 ,  류주석 ,  박진구 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

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