금속세정공정의 청정기술 적용사례

정찬교 ,  구희준

청정기술

1997 .12

반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발

손일룡 ,  김태곤 ,  유영삼 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Nano-level Device 제조를 위한 신 메탈 전극 세정에 관한 연구

변재호 ,  송용화 ,  천희곤

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

반도체 세정기술

최종복

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정 공정에서의 청정 기술 동향

조영성 ,  이종협    

청정기술

1999 .06

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향

최형복 ,  류근걸 ,  정상돈 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

김진수 ,  이승호 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

반도체 세정용 전해이온수 발생장치 개발

이연 ,  서한별 ,  양경식 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

과산화수소를 대체하여 고농도의 오존수를 사용한 SC1의 오염물 제거 효율 평가

이승호 ,  박진구 ,  이상호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

반도체 습식 세정 공정 중 IPA와 초순수 혼합 용액에서의 웨이퍼 건조 및 오염 입자 제거 효과

이상호 ,  류주석 ,  박진구 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

식품산업에서의 세정, 살균과 Clean Room관리

허종화

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1987 .05

태양광 웨이퍼 세정공정의 표면 금속오염 제어 연구

이경무 ,  정진수 ,  김창수 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .05

펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈 ,  이주홍 ,  김필기 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .06

Development of watermark free drying process on hydrophobic wafer surface for single wafer process tool

임정수 ,  최승주 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

레이저 충격파 세정공정의 해석

오부국 ,  이정욱 ,  김동식

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2006 .01