환경친화적인 웨이퍼 건조공정 개발

장인성 ,  조소희 ,  송병선 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

1998 .12

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

Development of watermark free drying process on hydrophobic wafer surface for single wafer process tool

임정수 ,  최승주 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

반도체 공정에서의 웨이퍼 불량 유형 분류 시뮬레이션

하얀 ,  한영신

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

2004 .12

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 제조의 장비현황

한국전자산업진흥회

전자진흥

1983 .01

E.S.S.D. Environmentally Sound and Sustainable Development

황지현 ,  곽우영 ,  신승철 외 1명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2001 .05

반도체 웨이퍼 가공 공정에서 흐름시간을 제어하기 위한 온라인 스케쥴링 방법 ( An On-Line Scheduling Methodology to Control the Flow Time in Semiconductor wafer Fabrication )

윤현중 ,  이두용

대한기계학회 논문집 A권

1999 .12

반도체 무인화 제조공정을 위한 Wafer Handling 자동화기술의 현황

고명삼

전기의세계

1990 .06

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

반도체소자 제조기술의 변화

권호택

전자진흥

1983 .01

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08