새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석

최종완 ,  최영민 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가

권세훈 ,  정성준 ,  정영근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

CF4/O2 Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응

임규태 ,  김동표 ,  김경태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제

임하진 ,  강상열 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성

이호근 ,  배수민

Progress in superconductivity

2009 .01

$Ru(EtCp)_2$ precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막 특성 및 Ru precursor의 분해 특성 분석

최종완 ,  홍종인 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

A Study on the Plasma Etching of Ru Electrodes using O2/Cl2 Helicon Discharges

HyounWooKim ,  WoonSukHwang

Corrosion Science and Technology

2003 .01

EFFECTS OF THE SUBSTRATE TEMPERATURE AND $O_2$/Ar RATIO ON THE PROPERTIES OF Ru$O_2$ FILMS

Choi ,  Choi ,  J.Y. 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Ru CMP(Chemical Mechanical Planarization)에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향

조병권 ,  김인권 ,  권태영 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

(Ba,Sr)$TiO_3$ 용 (Ba,Sr)$RuO_3$ 전극의 산소 확산 평가 및 (Ba,Sr)RuO$_3$/Ru Bilayer의 도입

홍덕화 ,  강중서 ,  김현철 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구

김영길 ,  이재의 ,  조성준 외 1명

공업화학

1994 .01

초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술

김현우

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Post Ru CMP Cleaning for Alumina Particle Removal

P ,  asad ,  Y. Nagend 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

Cross Capacitor 주전극의 대칭구조에 관한 연구

이래덕 ,  김한준 ,  Yu.P.Semyonov 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

Electrochemical capacitor를 위한 Ru 나노입자가 담지 된 다공성 탄소 나노섬유의 제조

이유진 ,  안건형 ,  안효진

한국재료학회지

2014 .01

NMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성

홍신남 ,  이충근 ,  강영섭

전기전자재료학회논문지

2004 .01

PEMFC에서 전극의 CO 내성 및 막 내구성에 미치는 Ru/C 촉매의 영향

심우종 ,  김동환 ,  최서희 외 4명

화학공학

2008 .01

Ru$O_{2}$ 박막과 Ru$O_{2}$/Ru 이중막의 산소 분위기 열처리시 표면 반응 연구

오상호 ,  박찬로 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

산소 및 염소 플라즈마를 이용한 류테늄 미세패턴 식각특성

김광식 ,  이정호 ,  김현우 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01